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薄膜成分分析
在玻璃、硅单晶、金属板以及高分子膜等载体上的薄膜试样采用衍射测定时，若薄膜试样的厚度小于1000埃，测定是很困难的。采用平行束光路系统，以很小的入射角（1~5°）固定入射试样上，可以增强来自薄膜样品的衍射强度，降低背景峰的干扰。
在玻璃、硅单晶、金属板以及高分子膜等载体上的薄膜试样采用衍射测定时，若薄膜试样的厚度小于1000埃，测定是很困难的。采用平行束光路系统，以很小的入射角（1~5°）固定入射试样上，可以增强来自薄膜样品的衍射强度，降低背景峰的干扰。