不同物相多晶体混合物的衍射谱，是各组成物相衍射谱的权重叠加。各组成相的衍射强度虽受其它物相的影响，但是与其含量成正比，故可通过衍射谱的强度分析求出各组成相的重量百分比。

此外，随着衍射峰位与衍射强度实验测量准确度的提高及Rietveld法的发展，利用Rietveld法粉末衍射全谱拟合来进行物相定量分析的方法得到了发展，其基本公式为:

                                                Wi=Si(ZMV)i/∑pSp(ZMV)p

式中 S、Z、M、V依次为Rietveld定标因子，晶胞中的单位化学式数量，单位化学式质量及晶胞体积。i表示待测相，对p加和是对试样中所有想加和，包括i相。

定量相分析方法主要有外标法、参考强度比法、增量法、无标法、Rietveld全谱拟合法等。