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金属材料中ppb级及其以上含量的杂质元素分析

检测目的：可以检测5N、6N高纯铝、铜、锌、镍、钴以及多晶硅材料中的痕量和超痕量杂质元素

检测标准：辉光放电质谱（GDMS）

检测仪器：电感耦合等离子体质谱仪

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