技术指标：X-Max5探测器，第七代圆形SDD晶体，50 mm^2有效探测面积，MnKa分辨率保证值优于129 eV，峰背比优于20000:1；EBSD-CCD: B44*1024，荧光屏30*40 mm，探测器与样品水平距离可缩短至7 mm，竖直WD可至5 mm，自动马达伸缩。

功能特色：INCA MICS2图像采集分析器，INCA-X-stream2波形采集处理分析器，全自动晶体学参数测量。