技术指标及功能简介：二次电子分辨率6nm，分析元素范围B-U，波谱通道数4CH，加速电压范围0.2-30 kv，探针电流范围10-12-10-5A，束流稳定性±0.5×10-3/h。。
1.主要功能：二次电子像、反射电子像、Ｘ射线像、定性分析、定量分析、线分析、面分析。
2.分析特点：电子探针Ｘ射线显微分析它能以高的空间分辨率（二次电子分辨率10 nm），可以实现同时获得测量区的微区形貌图像和相应的成分像，以及其构成元素的定性，定量分析；使对样品所含元素的分析与其形态对应起来。因此，电子探针Ｘ射线显微分析仪所能做到的是在不破坏样品原结构，直观，快捷，纳米级范围；如对显微组织，显微物相，显微杂质等一系列显微微区形貌与成分定性，定量分析。

主要研究方向：变质地质学、成因矿物学、造山带及其演化。