技术指标及功能简介：最小测试漏电流为10-12 A，探针曲率半径为0.5μm，显微镜最大放大倍率为400倍，配合电学测试系统，适合测量1微米或以上线宽的器件的电学性质，最多可以进行四极测量。可用于大尺寸硅片（最大6英寸）或集成器件检测，能进稳定和精确的移动和探针测量。

主要研究方向：微纳器件

所获奖项或专利 
国家自然科学奖二等奖（2008年12月3日）
教育部自然科学奖一等奖（2008年1月）

人才培养：培养博士后5名，博士生13名，本科生12名