技术指标及功能简介

电子枪
加速电压：200V-30kV，连续可调
着陆电压：50V-30kV，连续可调
电子束流：可达100nA

分辨率
高真空：1.0nm @ 15 kV, 1.6nm @ 1 kV；
低真空模式: 1.5nm @ 10kV; 1.8nm @ 3kV；
低真空：1.8nm @ 3 kV (Helix探头)；
背散射电子(BSE)：2.5nm @ 30kV；

探测器
高真空模式E-T二次电子探头（Everhardt Thornley SED）；
极靴内TLD二次电子探头（In-lens SE/BSE Detector）；
低电压高衬度探头（vCD）
低真空模式LVD二次电子探头（LVD ）；
低真空模式超高分辨Helix二次电子探头（UHR low vacuum Helix Detector）；
红外CCD相机（IR-CCD）

主要附件
X射线能谱仪（EDX）：可对样品进行微区成分定性、半定量、定量分析，分析元素范围：（5B-92U）；

主要研究方向:适用于纳米材料精细形貌的观察，可获得高质量高分辨二次电子图像，其图象质量明显优于普通扫描电镜。该设备适用于物理、材料、半导体、超导体、化学高分子、催化剂、地质矿物、生物、医学等领域的微观研究。