技术指标：分辨率：1.5nm@30KV，加速电压最高 30KV，适用于纳米材料精细形貌的观察，可获得高质量高分辨二次电子图像，其图象质量明显优于普通扫描电镜。该设备适用于物理、材料、半导体、超导体、磁性材料、化学高分子、催化剂、地质矿物、生物、医学等领域的微观研究。

功能特色：适用于纳米材料精细形貌的观察，可获得高质量高分辨二次电子图像，其图象质量明显优于普通扫描电镜。该设备适用于物理、材料、半导体、超导体、磁性材料、化学高分子、催化剂、地质矿物、生物、医学等领域的微观研究和分析。