技术指标及功能简介 
1、加速电压15KV，显示放大220K，工作距离4.0mm时分辨率1.0nm。
2、加速电压1KV，工作距离1.5mm时分辨率2.0nm。
3、真空系统：电子枪＜10-7Pa；第一级中间真空室＜2×10-6Pa；第二中间真空室＜10-5Pa，本仪器对系统真空度要求高，适合测试导电样品。对不导电样品测试效果不如环境扫描显微镜；可根据要求随时开关高压；有两个真空室，小的预真空室用于更换样品，非常简单快捷。
应用范围：可用于表征各种微、纳米材料、器件等。

主要研究方向:纳米材料

所获奖项或专利:
国家自然科学奖二等奖（2008年12月3日）
教育部自然科学奖一等奖（2008年1月）

人才培养:培养博士后5名，博士生13名，本科生12名