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场发射扫描电镜

仪器设备名称:场发射扫描电镜 仪器设备分类编号:0404726
仪器设备厂商及型号:FEI;XL30SFEG 购置时间:2002年3月
国别:荷兰  

技术指标及功能简介:10KV加速电压下分辨率1.5nm,1KV下分辨率2.5nm,EDAX能谱分辨率136eV。

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