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场发射扫描电子显微镜
| 仪器设备名称:场发射扫描电子显微镜 | 仪器设备分类编号:0710316 |
| 仪器设备厂商及型号:日本电子株式会社；JSM-7500F | 购置时间:2007年3月 |
| 国别:日本 |
技术指标及功能简介:分辨率：1.0nm（15KV），1.4nm（1KV）。放大倍数：25倍－1,000,100倍（SEM模式）。加速电压：0.1KV-30KV。电子抢种类：冷场发射电子抢。WD工作距离：1.5--25mm。
主要研究方向:微观形貌分析
在研或曾承担重大项目:
三轴MEMS硅微加速度计系列
微机械陀螺敏感结构微加工与工艺研究
MEMS加工工艺研究
跨尺度多元复合微纳加工与封装方法研究