技术指标及功能简介：x-y方向扫描范围100μm×100μm，精度1nm。z方向针尖样品间距采用切变力反馈控制，一般在10nm左右，针尖伸缩范围20μm，精度1nm。针尖x-y方向和z方向粗逼近采用惯性步进马达，移动范围5mm×3mm×10mm，单步移动距离在1μm以下。样品台可以在30mm×30mm大范围内移动。通过样品台逐点扫描，可以同时获得样品的形貌图和近场光学图，分辨率取决于近场光纤探针的孔径，一般为50-100nm。该近场光学显微镜系统，利用50 nm直径的光纤探针将激光引入局域，可探测纳米尺度的超微细结构的透射，反射变化及激光激发下的光特性变化。利用SNOM与飞秒激光相结合，还实现了高时空四维分辨显微测量。

主要研究方向：飞秒近场光谱学、介观光学、近场光学。