功能：STM、AFM、ETM、MFM、LFM。STM分辨率0.1 nm，扫描范围0-10微米。AFM分辨率1 nm，扫描范围0-50微米。仪器具备原子力显微镜、扫描隧道显微镜、磁力显微镜、横向力显微镜、电场力显微镜等功能，在室温、大气环境下，从原子尺度到125 μm范围内，可对固体材料、薄膜、生物样品等的表面形貌,表面微观结构,力学,电学,磁学等性质进行分析和研究。