1．AFM，DFM磁力成像功能；2．SPA-400主机，x.y：20×20μm，z：2μm；分辩率：x.y：0.2nm，z：0.01nm；3．控制与数据采集：Pentium4，2.26 G，256 RAM，20 G硬盘，19"显示。具有原子力、磁力、电场力显微镜等功能。可对绝缘衬底，导电衬底薄膜表面形貌，表面微观结构等。

工作特色及应用范围：具有原子力县委井，磁力线为井，电场显微井等功能，可对绝缘衬底，导电衬底薄膜表面形貌，表面微观结构等进行原子尺度的观察分析。