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半导体参数分析仪
| 仪器设备名称:半导体参数分析仪 | 仪器设备分类编号:199802245 |
| 仪器设备厂商及型号:惠普公司：HP4156B | 购置时间:1998年03月 |
| 国别:美国 |
1、 SMU 测量范围和分辨率：1fA/2μV～100mA/100V；2、VSU 输出范围和分辨率：±20V，1mV；3、VMU 电压范围和分辨率：±2V～±20V，2μV～20mV。
本仪器有4组SMU测量监控单元，2组VMU电压监测单元，2组VSU电压源，常用于半导体器件和电路的直流参数分析和测量。