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精密半导体参数分析仪
| 仪器设备名称:精密半导体参数分析仪 | 仪器设备分类编号:0000869 |
| 仪器设备厂商及型号:惠普公司：HP4156B | 购置时间:1999年8月 |
| 国别:美国 |
技术指标及功能简介:10pA~100mA/Res.1fA，2V~100V/Res.2μV三种SMU单元：HRSMU（高分辨率SMU）及MPSMU（中功率SMU）：施加应力和测量：±100V或±100mA；最大输出功率：2W。HPSMU（高功率SMU）：施加应力和测量：±200V或±1A；最大输出功率：20W。
主要研究方向:半导体器件IV测试，可靠性检测