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台阶仪

仪器设备名称:台阶仪 仪器设备分类编号:0408969
仪器设备厂商及型号:KLA-Fencer;Alpha-Step IQ 购置时间:2004年10月
国别:美国  

技术指标及功能简介:测量范围100Å -0.4 mm;精度0.8 mm;垂直分辨率0.24 Å,采用高倍光学放大镜头及先进的传感器技术,使用简易操作的微软系统,能够提供快速的厚度测量。应用于薄膜材料的表征。

主要研究方向:光电功能材料

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