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离子减薄仪

仪器设备名称:离子减薄仪 仪器设备分类编号:03061840
仪器设备厂商及型号:Gatan公司/Gatan 691.CS 购置时间:2011
国别:美国  

技术指标及功能简介:聚焦离子束设计,低能量枪:离子能量0.1Kev-6Kev;小角度减薄,入射角可以从10°至-10°,看进行<1°减薄;持续冷却功能的液氮冷台,温度可低至-175°C。

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