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热场发射扫描电镜
| 仪器设备名称:热场发射扫描电镜 | 仪器设备分类编号:03040702 |
| 仪器设备厂商及型号:FEICompany/QUANTA-650FEG | 购置时间:2011 |
| 国别:美国 |
技术指标及功能简介：E-T二次电子探头（30kv下3.0nm,30kv下4.0nm，3kv下8.0nm）、气体二次电子探头（GSED）、低真空环境（30kv下3.0nmSE，30kv4.0nm-BSE,3kv下10nm-SE）、样品室真空<6e-4Pa,低真空10-130Pa。
| 仪器设备名称:热场发射扫描电镜 | 仪器设备分类编号:03040702 |
| 仪器设备厂商及型号:FEICompany/QUANTA-650FEG | 购置时间:2011 |
| 国别:美国 |
技术指标及功能简介：E-T二次电子探头（30kv下3.0nm,30kv下4.0nm，3kv下8.0nm）、气体二次电子探头（GSED）、低真空环境（30kv下3.0nmSE，30kv4.0nm-BSE,3kv下10nm-SE）、样品室真空<6e-4Pa,低真空10-130Pa。