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激光分子束外延系统
| 仪器设备名称:激光分子束外延系统 | 仪器设备分类编号:03060300 |
| 仪器设备厂商及型号:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司/LMBE450 | 购置时间:2011 |
| 国别:国内 |
技术指标及功能简介：生长室极限真空5.0×10-8Pa，真空漏率小于2.0×10-8Pal/s，进样室极限真空5×10-5Pa，真空漏率小于5×10-8Pa l/s，样品台加热温度可调范围30℃-85℃，控温精度±0.2℃，基片连续互转，转速5-60转/份，靶台转速5-60转/分。