科学仪器设备
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台阶仪
| 仪器设备名称:台阶仪 | 仪器设备分类编号:03060306 |
| 仪器设备厂商及型号:KLATencor/ALPHA | 购置时间:2011 |
| 国别:美国 |
技术指标及功能简介：最大扫描长度：10mm，样品台固定，X,Y轴双向移动，扫描速度：2um/sec到200um/sec。扫描垂直范围为500um，最大台阶高度为550um。
| 仪器设备名称:台阶仪 | 仪器设备分类编号:03060306 |
| 仪器设备厂商及型号:KLATencor/ALPHA | 购置时间:2011 |
| 国别:美国 |
技术指标及功能简介：最大扫描长度：10mm，样品台固定，X,Y轴双向移动，扫描速度：2um/sec到200um/sec。扫描垂直范围为500um，最大台阶高度为550um。