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微波CVD薄膜沉积装置
| 仪器设备名称:微波CVD薄膜沉积装置 | 仪器设备分类编号:03060307 |
| 仪器设备厂商及型号:杭州大华仪器制造有限公司/DH2008 | 购置时间:2011 |
| 国别:国内 |
技术指标及功能简介：总功率3000W/0-800W/富斯特4L/S。机械泵/油扩散泵/水循环/内路质量流量计。
| 仪器设备名称:微波CVD薄膜沉积装置 | 仪器设备分类编号:03060307 |
| 仪器设备厂商及型号:杭州大华仪器制造有限公司/DH2008 | 购置时间:2011 |
| 国别:国内 |
技术指标及功能简介：总功率3000W/0-800W/富斯特4L/S。机械泵/油扩散泵/水循环/内路质量流量计。