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箱式介质薄膜沉积系统

仪器设备名称:箱式介质薄膜沉积系统 仪器设备分类编号:03060307
仪器设备厂商及型号:成都真空机械厂/ZZS-660B 购置时间:2011
国别:国内  

技术指标及功能简介:极限真空小于1.0×10-4Pa,电子枪双源蒸发。

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