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箱式介质薄膜沉积系统
| 仪器设备名称:箱式介质薄膜沉积系统 | 仪器设备分类编号:03060307 |
| 仪器设备厂商及型号:成都真空机械厂/ZZS-660B | 购置时间:2011 |
| 国别:国内 |
技术指标及功能简介：极限真空小于1.0×10-4Pa，电子枪双源蒸发。
| 仪器设备名称:箱式介质薄膜沉积系统 | 仪器设备分类编号:03060307 |
| 仪器设备厂商及型号:成都真空机械厂/ZZS-660B | 购置时间:2011 |
| 国别:国内 |
技术指标及功能简介：极限真空小于1.0×10-4Pa，电子枪双源蒸发。