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直线型匀胶显影设备
| 仪器设备名称:直线型匀胶显影设备 | 仪器设备分类编号:05080100 |
| 仪器设备厂商及型号:沈阳芯源微电子设备有限公司/KS-L100 | 购置时间:2011 |
| 国别:国内 |
技术指标及功能简介：电机主轴50-8000rpm，热板50-120°c±1°c ，120.1-250°c±2°c。胶1.0-2.5μm，≤±2.5%； 2.6-5μm，≤±3%。片间匀胶性≤±5%。
| 仪器设备名称:直线型匀胶显影设备 | 仪器设备分类编号:05080100 |
| 仪器设备厂商及型号:沈阳芯源微电子设备有限公司/KS-L100 | 购置时间:2011 |
| 国别:国内 |
技术指标及功能简介：电机主轴50-8000rpm，热板50-120°c±1°c ，120.1-250°c±2°c。胶1.0-2.5μm，≤±2.5%； 2.6-5μm，≤±3%。片间匀胶性≤±5%。