紫外光刻机-其他仪器-XRD,X射线衍射,成分分析,矿物分析,分析测试,材料分析,元素分析-北京大学研发实验服务基地

紫外光刻机

仪器设备名称:紫外光刻机	仪器设备分类编号:05080105
仪器设备厂商及型号:中国科学院光电技术研究所/URE-2000A型	购置时间:2011
国别:国内

技术指标及功能简介：分辨率1μm。曝光面积150×150mm。