科学仪器设备
服务查询
单面紫外光刻机
| 仪器设备名称:单面紫外光刻机 | 仪器设备分类编号:05080105 |
| 仪器设备厂商及型号:suss/MJB4 | 购置时间:2011 |
| 国别:德国 |
技术指标及功能简介：3"-5mm样品台，20x物镜，双视场分离，分辨率0.8μm，套外精度优于±0.5μm，365nm波长不低于40mW/cm2，光强度均匀度，100mm，直径内优于±3%。
| 仪器设备名称:单面紫外光刻机 | 仪器设备分类编号:05080105 |
| 仪器设备厂商及型号:suss/MJB4 | 购置时间:2011 |
| 国别:德国 |
技术指标及功能简介：3"-5mm样品台，20x物镜，双视场分离，分辨率0.8μm，套外精度优于±0.5μm，365nm波长不低于40mW/cm2，光强度均匀度，100mm，直径内优于±3%。