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电子束光刻机
| 仪器设备名称:电子束光刻机 | 仪器设备分类编号:05080105 |
| 仪器设备厂商及型号:NBL/nB3 | 购置时间:2011 |
| 国别:英国 |
技术指标及功能简介：加速电压30-100kev，最小束斑1.8nm，束流密度50nA，最小线宽20nm，拼场精度25nm，套刻精度25nm，扫描场面积20um-1000um。
| 仪器设备名称:电子束光刻机 | 仪器设备分类编号:05080105 |
| 仪器设备厂商及型号:NBL/nB3 | 购置时间:2011 |
| 国别:英国 |
技术指标及功能简介：加速电压30-100kev，最小束斑1.8nm，束流密度50nA，最小线宽20nm，拼场精度25nm，套刻精度25nm，扫描场面积20um-1000um。