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亚微米精度键合机
| 仪器设备名称:亚微米精度键合机 | 仪器设备分类编号:05080132 |
| 仪器设备厂商及型号:FINETECH/FINE PLACER-96Lamda | 购置时间:2011 |
| 国别:德国 |
技术指标及功能简介：对准精度±0.5μm；温度范围RT-400℃；压力范围：0.3N-300N。
| 仪器设备名称:亚微米精度键合机 | 仪器设备分类编号:05080132 |
| 仪器设备厂商及型号:FINETECH/FINE PLACER-96Lamda | 购置时间:2011 |
| 国别:德国 |
技术指标及功能简介：对准精度±0.5μm；温度范围RT-400℃；压力范围：0.3N-300N。