信息学院购置的“原子层沉积系统”到货
编辑：本站编辑 来源:北京大学实验室与设备管理部 发布时间：2015年01月08日
我校信息科学技术学院购置的美国ULTRATECH公司生产的“原子层沉积系统”于2014年12月27日到货。该设备由“985”项目三期经费支持，拟用于开展碳基集成电路的研究，是生长高质量薄膜材料的必要设备。拟安装在理科2号楼微纳加工实验室，责任教授为彭练矛教授。
我校信息科学技术学院购置的美国ULTRATECH公司生产的“原子层沉积系统”于2014年12月27日到货。该设备由“985”项目三期经费支持，拟用于开展碳基集成电路的研究，是生长高质量薄膜材料的必要设备。拟安装在理科2号楼微纳加工实验室，责任教授为彭练矛教授。