微米/纳米加工技术国家级重点实验室建于1996年，主要从事基于硅微电子工艺的三维微纳加工技术、MEMS/NEMS与IC集成设计与制造技术（依托北京大学）和非硅基准LIGA微纳加工技术（依托上海交通大学）三大方向的研究。2012年，明确北京大学为主依托单位。
 　　　实验室北京大学部分主要从事微纳加工技术、微纳米器件和集成微纳系统研究，在硅基微纳机电系统（M/NEMS）关键加工技术和成套工艺、先进材料加工工艺、设计方法学、工艺建模与仿真、M/NEMS /IC单片集成技术、微纳跨尺度加工技术、惯性器件及系统、射频器件及系统、光学器件及系统和生物器件及系统等方面均取得了高水平的研究成果。近三年来，实验室承担了国家科技重大专项、“973计划”、“863计划”、国家自然科学基金等各种国家级科研项目124项。实验室与国内外研究与应用单位大力协同、开展多层次的合作研究，技术成果在国民经济与国家重大工程得到多次应用；为70余个合作伙伴的400多个器件研制和500多项关键工艺研发提供了技术支持。近十年内，实验室的惯性器件制造工艺已向产业界实现技术转移；所研制的高精度辐射探测器打破国际禁运，已在北斗、资源等多颗卫星上使用；成功开发出耐受500oC的高温传感器；向国际电工委员会(IEC)提交了来自中国MEMS行业的首个国际标准(共性技术)；作为首席单位，承担国家重大安全计划(973)，并取得重大突破，成功研制出我国第一块十层堆叠电互连结构。近十年内，实验室获国家技术发明二等奖2项（2006年、2010年）、国家科学技术进步二等奖1项（2008年）、教育部科技进步一等奖2项（2007年、2009年）、教育部自然科学一等奖1项（2015年）、北京市科技进步一等奖1项（2007年）。
 　　　目前，以王阳元院士、黄如院士为领军人物的实验室科研人员43名，70%以上具有博士学位。实验室具有国际一流的硅基微纳加工平台、MEMS/NEMS与IC集成设计平台，超净间1500平方米（含百级150平方米），150余台套硅基微纳加工工艺和检测分析设备，资产总值逾亿元人民币。一批国内首次引进的工艺设备使我国具备了国际先进水平的CMOS/SOI电路、硅基M/NEMS器件与微系统的研究环境。