服务特色
    纳米器件物理与化学教育部重点实验室成立于2003年10月，其核心任务是研究纳米器件表现出的奇异的物理和化学性质，探索纳米尺度的材料和工艺，为进一步发展基于新的工作原理的、更小、更快、功能更强大的集成芯片做准备。 实验室主要研究内容基本为有重大应用牵引的基础研究：发展与微电子工艺可能结合的纳米加工技术；探索新型纳电子材料；新型纳电子器件的工作原理及量子调控手段；研究新型纳电子器件可能的集成方式及相应的信号提取和处理方式；增强纳米元器件的功能，发展集纳电子、光电子和传感功能为一体的纳米器件；发展纳米表征和测量方法。

科研队伍和骨干专家 
1．科研队伍
　　实验室现有固定研究人员 28名，除两名化学系教授外，其余由北京大学电子学系物理电子学研究所人员组成。固定人员中含教授 10 名、副教授或副研究员12名。 其中年龄在 45 岁以下者占 85% 以上；具有博士学位者 95% 以上；教授和副教授中 80% 以上具有在国外长期从事研究工作的经历。 学术骨干中有一名长江特聘教授、一名**计划特聘教授、三名国家杰出青年获得者和五名教育部新世纪优秀人才。实验室成员在近20个重要学术机构中任职。
2. 骨干专家
　　彭练矛，博士学位，博士后学历，教授，博士生导师，北京大学电子学系系主任；教育部纳米器件物理和化学重点实验室主任。研究方向为：纳米电子及功能材料的合成；基于纳米材料的高性能电子、光电子器件的制备，器件物理，纳米集成电路的实现和系统集成；纳米器件在化学、生物传感及能源方面的应用。

科研成果 　　

目前，实验室成员承担着超过30项国家研究项目，其中有重大或重点项目3项，863项目2项， 国家自然科学基金项目13项，杰出青年基金2项和海外及港澳学者合作研究基金项目4项，北京市自然科学基金2项。其中2001年纳米碳管工作被中华人民共和国科学技术部选入“纳米研究取得最新成果”，评为2000年中国基础科学研究十大新闻第一条； “亚纳米碳管的稳定性研究”被选为2000年中国高校十大科技进展第七条。2004年“电子显微学基础和纳米结构研究”北京市科学技术一等奖。2010年度彭练矛，陈清等人的"定量电子显微学方法与氧化钛纳米结构研究"项目获得国家自然科学二等奖。

代表仪器设备

名称1： 单双面紫外光刻
原值（万元） 49
厂商及型号： 2000SA
主要性能参数： 曝光波长：uv400；曝光面积：大于或等于100mm(4英寸）；分辨率：0.8μm；套刻精度：优于±0.6μm（单面）±3μm（双面）；光强均匀度：100mm直径内优于±4%；掩膜相对于样片运动行程的范围大于或等于：X±5mm，γ±5mm，θ±5度
功能用途： 对样品单面曝光、双面曝光和高精度套刻